各種ガスユニットの製作
- 減圧弁ＢＯＸ
- ガスユニット
- 気化ユニット
- 液ソースバブリングユニット
半導体・液晶装置の立上げ現地工事
- 排気配管関連工事の設計・施工管理
- ガス配管工事の設計・施工管理
- 制御配線接続工事
各種装置の設計製作・現地工事
- ガスパネルの改造・リファブ工事
- 装置能力の増強・改造工事
- 配管加工部品の製作・溶接及び工事
- 制御機器の設計製作・工事
シリンダーキャビネット・ガス精製装置
- 年次法令点検
- 定期メンテナンス
ガス回収設備
- 日常メンテナンス
- 定期メンテナンス
- 関連工事一式
スラリー供給装置
- 運転・点検管理
- 日常メンテナンス
- 定期メンテナンス（部品交換・定期洗浄等）
その他、各種半導体製造用装置のメンテナンス等も行っております。
